脈沖激光沉積 (Pulsed laser deposition, PLD),就是將激光聚焦于靶材上一個(gè)較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發(fā)甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運(yùn)動(dòng),進(jìn)而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術(shù)的應(yīng)用較為廣泛,可用來(lái)制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質(zhì)薄膜,甚至還用來(lái)制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
我司高能量納秒激光器,針對(duì)該領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)是:
- 輸出能量高。各波長(zhǎng)能量能量均高于300mJ
- 重復(fù)頻率高,燈泵浦和二極管泵浦納秒激光器均可以做到100-200Hz。LD系列激光器可以實(shí)現(xiàn)100KHz
- 多波長(zhǎng)激光器內(nèi)部自動(dòng)切換輸出,如532/355/266nm
- 高性價(jià)比。較傳統(tǒng)準(zhǔn)分子激光器有更高的性價(jià)比
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